目前国内晶圆厂产线中半导体阀门的采购仍较大程度上依赖于海外厂商。具体来看,真空阀市场主要由瑞士VAT主导,流体阀主要由美国Swagelok、美国ParkerHannifin、日本Fujikin等厂商主导,相对来说流体阀要求更为严苛、且美厂主导格局下国产替代紧迫性尤为明显。
半导体阀是由带有辅助设备的半导体器件组成的阀。半导体制造是制造用于电子设备和电气设备的集成电路的过程机械阀门隔膜阀。这些过程中的每一个都需要许多阀门和配件解决方案。全球主要的半导体阀门厂商包括增值税Vakuumventile、Parker和Fujikin等。排名前三的半导体阀厂商约占整个市场的64%。北美是半导体阀的最大消费市场,约占28%,其次是欧洲和中国。
目前国内晶圆厂产线中半导体阀门的采购仍较大程度上依赖于海外厂商。具体来看,真空阀市场主要由瑞士VAT主导,流体阀主要由美国Swagelok、美国ParkerHannifin、日本Fujikin等厂商主导,相对来说流体阀要求更为严苛、且美厂主导格局下国产替代紧迫性尤为明显。而国内已有厂商具备良好国产替代基础,如新莱应材已在闸阀等多种真空阀产品对国内主流客户实现国产化供应,在隔膜阀等气体阀也已实现销售突破并迎来快速放量。
目前,长江存储和长鑫存储是国内在存储芯片3DNAND、DRAM领域各自的代表厂商,经过多年的技术积累后,长江存储已经实现232L3DNAND工艺的量产,长鑫存储已经实现19nmDRAM工艺的量产,其中,尤其主要是长江存储在被限制后短期扩产确实受到一定影响。但国内存储厂商产能在全球占比依然极小,和国内市场需求严重不匹配,中长期来看半导体阀产能提升空间十分巨大。
我国发展第三代半导体也被写入 十四五 规划。规划要求,要加强原创性引领性科技攻关。其中,在集成电路层面,包括集成电路设计工具、重点装备和高纯靶材等关键材料研发,集成电路先进工艺和绝缘栅双极型晶体管 ( IGBT ) 、微机电系统 ( MEMS ) 等特色工艺突破,先进存储技术升级,碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体发展。
全球范围内,美国、欧洲、日本、中国在第三代半导体发展上处于“四足鼎立”状态。当前,国内第三代半导体产业发展得如火如荼,在现代工业、通信等领域都有巨大的应用前景机械阀门隔膜阀。苏州、长沙、合肥、南昌等地都在布局半导体产业园,希望提高在全球的竞争力。
全球半导体制造设备出货金额相较于1026亿美元增长5%,创下1076亿美元的历史新高。中国大陆的半导体设备投资额同比放缓5%,为283亿美元,但依旧连续3年成为全球最大的半导体设备市场。
中国台湾地区连续第四年稳定增长,排名上升至第二,2022年增长8%,达到268亿美元。韩国则因为存储芯片市场不景气,三星、SK海力士等厂商的生产放缓,导致设备销售额大幅下降14%,为215亿美元,排名第三。欧洲的半导体设备投资却激增93%,北美增长了38%。世界其他地区和日本的销售额分别同比增长34%和7%。
VAT公司占全球半导体线年其市占率保持稳定,结合公司2022年半导体线亿美元),则全球半导体阀市场规模约10亿美元;类似地,可测算出全球泛半导体线亿美元。
真空阀市场格局集中,除了瑞士VAT占据主导地位以外,MKS公司(美国)、V-TEX(日本)、CKD(日本)、SMC(日本)、Ulvac(日本)等厂商也都占据一定的市场份额。
瑞士VAT作为全球线亿瑞士法郎,其中阀门产品收入9.33亿瑞士法郎,服务收入2.13亿瑞士法郎。阀门产品收入进一步划分,则半导体为最大下游应用,收入为7.17亿瑞士法郎,其余则为先进工业、显示&太阳能应用。
据统计数据显示,中国阀门产量已达786万吨,同比增长2.77%。截止至上半年我国阀门进口量为51126万套,同比增长25.1%。上半年我国阀门进口金额为3632百万美元,同比下降0.5%。
全球工业阀门的市场需求中,包含钻采机械阀门隔膜阀、运输和石化在内的石油天然气领域占比最高,达到37.40%,其次是能源电力和化工领域的需求,分别占全球工业阀门市场需求的21.30%和11.50%,前三大领域的市场需求合计占全部市场需求的70.20%。
预测我国阀门产量将达到830万吨,未来五年(2019-2023)年均复合增长率约为3.02%,并预测在2023年我国阀门产量将达到935万吨。
隔离阀起隔绝/接通作用,如可用于连接真空泵,在其运作与否时起到禁止/允许气体进入真空泵系统的作用;控制阀主要起到控制气体流量和压力的作用;传输阀则可用于晶圆在腔体之间或腔体和LoadLock之间的传输。从实际应用来看,隔离阀采用最多的主要为角阀和闸阀。闸阀的启闭件为闸板,闸板运动方向与介质流动方向垂直,通过闸板的升降可以起到隔绝/接通作用,通常只作全开/全闭状态,是隔离阀的理想选择,而较少用作控制作用。闸阀可用于腔体和真空泵之间。
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